我們對于真空腔體的檢漏辦法了解多少呢？真空腔體加工廠就在這兒介紹下，真空腔體加工檢漏主要有三種：氦質(zhì)譜檢漏，真空封泥檢測法，真空計檢漏法。下面就來詳細的介紹下這三種辦法。

         一、氦質(zhì)譜檢漏
         該檢漏辦法是真空檢漏領(lǐng)域里不可或缺的一種技能，因檢漏效率高，操作簡略，儀器反應(yīng)活絡(luò)，精度高，不容易遭到其他氣體攪擾，在真空檢漏中得到了很多使用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。
         由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規(guī)、收集器組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣等部分組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振動，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互磕碰使其電離成正離子，這些氦離子在加快電場效果下進入磁場，在洛倫茲力的效果下偏轉(zhuǎn)，進而形成了圓弧形軌道，改動加快電壓可使不同離子通過磁場和接納縫到達接納極而被檢測到。其間呢，噴氦法和吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏常用的兩種辦法。
         二、真空封泥檢測法
         用真空泥封住可疑的漏點，此刻要注意調(diào)查真空度的改變，如果貼上真空泥之后真空度上升較快，拿掉之后又有了顯著的下降，這說明便是一個漏點哦。然而，這個辦法在實踐檢測中用的比較少
         三、真空計檢漏法
         部分真空計的讀數(shù)與氣體種類有關(guān)，例如電離真空計，熱偶計。用適宜的氣體或者液體做示漏物質(zhì)，這些真空計就成了探測器，一般鍍膜機上都會有真空計，在實踐使用中也是比較常用的檢漏辦法。熱偶計的示漏物質(zhì)有二氧化碳，丁烷，酒精等，熱偶計的反應(yīng)比較慢，要仔細調(diào)查。用于電離計的示漏物質(zhì)主要有氦，氬，酒精等。