復(fù)雜的真空腔體加工通常需要定制，即專門為應(yīng)用終端設(shè)計(jì)和制作。一些常見的真空腔已經(jīng)預(yù)先設(shè)計(jì)好了，如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。例如，脫氣箱和手套箱一般采用低真空環(huán)境，可用于焊接，也可用于塑料制品、復(fù)合層壓板、包裝部件等的脫氣。

      真空腔體加工包括真空腔、真空密封傳導(dǎo)、視口設(shè)置、真空傳感器、真空顯示、沉積系統(tǒng)、蒸發(fā)源和蒸發(fā)材料、飛濺目標(biāo)、等離子蝕刻設(shè)備、離子注入設(shè)備、真空爐、真空泵、法蘭、閥門和管件等多個(gè)部件。真空設(shè)備常用于脫氣、焊接、薄膜涂層制備、半導(dǎo)體/晶圓生產(chǎn)、光學(xué)設(shè)備和材料。

      為設(shè)備腔提供定制服務(wù)，腔的形狀和開口可根據(jù)用戶要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。表面分析腔有一個(gè)通用腔，用戶也可以在通用腔的基礎(chǔ)上進(jìn)行定制設(shè)計(jì)。手套箱和焊接箱用于熔化或焊接鈦、鋅和其他容易在大氣中氧化的材料。真空密封頸是基板和鐘形蓋之間的過渡組件，可以提供額外的高度和更多的自由端口。裝載鎖定室是建在主腔上的小腔，樣品、晶片或其他組件可以從外部大氣環(huán)境移動(dòng)到內(nèi)部高真空環(huán)境，而不破壞主腔的真空度。表面分析腔有一個(gè)通用腔，用戶也可以在通用腔的基礎(chǔ)上進(jìn)行定制設(shè)計(jì)。

     真空度是影響真空絕緣水平的主要因素。

     真空度顯示了間隙擊穿電壓與氣體壓力之間的關(guān)系。當(dāng)真空度高于10-2Pa時(shí)，擊穿電壓基本不再跟隨氣體壓力。

     由于氣體分子碰撞游離現(xiàn)象，氣體壓力從10-2Pa逐漸升高，擊穿強(qiáng)度逐漸增大。

     當(dāng)真空度高于10-2Pa時(shí)，其耐壓強(qiáng)度基本保持不變。這表明真空滅弧室。

     當(dāng)真空度超過10-2Pa時(shí)，可滿足正常使用要求。

     近年來，為了降低制造成本，鑄造鋁合金用于真空腔體加工。此外，鈦合金用于制造真空腔體的用途。

     還有很多。真空腔體加工廠家為了減少腔體內(nèi)壁的外觀積累，通常采用噴砂或電解拋光來獲得光滑的外觀。超高真空系統(tǒng)的電解拋光用于表面處理。焊接是制造中的重要環(huán)節(jié)之一。為了防止大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。影響焊接質(zhì)量后，一般采用弧焊完成焊接?；『甘侵冈诤附舆^程中向鎢電極周圍噴射保護(hù)氣體，防止熔化后高度熔化溫金屬發(fā)生氧化反應(yīng)。