真空腔體加工中有哪些檢漏方法？

       1、氦質(zhì)譜檢漏

       這種檢漏方法是真空檢漏領(lǐng)域不可缺少的技術(shù)。它具有檢漏效率高、操作簡(jiǎn)單、儀器響應(yīng)靈敏、精度高、不易受其他氣體干擾等優(yōu)點(diǎn)，在真空檢漏中得到廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的氣密性檢測(cè)儀器，采用氦作為氣體泄漏指示器。

它由分析器、離子源、分析器、收集器、抽氣系統(tǒng)和電氣部件組成。質(zhì)譜室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來(lái)回振蕩，與通過(guò)泄漏孔進(jìn)入室內(nèi)的室內(nèi)氣體和氦氣碰撞，將它們電離成正離子。真空腔體加工這些氦離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入磁場(chǎng)，在洛倫茲力的作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn)，然后形成圓形軌道。通過(guò)磁場(chǎng)和接收槽改變加速電壓到達(dá)接收，可以檢測(cè)不同的離子。其中氦噴霧和氦吸收是氦質(zhì)譜檢漏常用的兩種方法。

       2.真空密封檢測(cè)方法

       用真空泥漿密封可疑泄漏。這時(shí)，真空腔體加工廠(chǎng)家注意觀(guān)察真空度的變化。如果附真空泥后真空度迅速上升，去掉后明顯下降，說(shuō)明是泄漏。然而，這種方法在實(shí)際檢測(cè)中很少使用。

       3.真空計(jì)泄漏檢測(cè)方法

一些真空計(jì)的讀數(shù)與氣體類(lèi)型有關(guān)，如電離真空計(jì)和熱電偶真空計(jì)。當(dāng)適當(dāng)?shù)臍怏w或液體被用作泄漏指示器時(shí)，這些真空計(jì)就變成了探測(cè)器。涂布機(jī)上一般都有真空計(jì)，這也是實(shí)際應(yīng)用中常用的檢漏方法。