近來許多人問真空腔體加工檢漏的辦法，真空腔體加工廠就在這里介紹下,真空腔體加工檢漏主要有三種：氦質(zhì)譜檢漏，真空封泥檢測法，真空計檢漏法。下面就來詳細(xì)的介紹下這三種辦法。

      氦質(zhì)譜檢漏

      該檢漏辦法是真空檢漏領(lǐng)域里不可或缺的一種技術(shù)，因檢漏效率高，操作簡單，儀器反響活絡(luò)，精度高，不容易受到其他氣體攪擾，在真空檢漏中得到了許多使用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。

      由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規(guī)、收集器組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣等部分組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加快電場效果下進(jìn)入磁場,在洛倫茲力的效果下偏轉(zhuǎn)，從而形成了圓弧形軌跡,改動加快電壓可使不同離子經(jīng)過磁場和接收縫抵達(dá)接收極而被檢測到。其中呢，噴氦法和吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏常用的兩種辦法。

      真空封泥檢測法

      用真空泥封住可疑的漏點，此時要注意觀察真空度的變化，假如貼上真空泥之后真空度上升較快，拿掉之后又有了明顯的下降,這說明就是一個漏點哦。然而,這個辦法在實踐檢測頂用的比較少

      真空計檢漏法

      部分真空計的讀數(shù)與氣體種類有關(guān),例如電離真空計,熱偶計。用適宜的氣體或者液體做示漏物質(zhì),這些真空計就成了探測器,一般鍍膜機(jī)上都會有真空計,在實踐使用中也是比較常用的檢漏辦法。熱偶計的示漏物質(zhì)有二氧化碳,丁烷,酒精等,熱偶計的反響比較慢,要仔細(xì)觀察。用于電離計的示漏物質(zhì)主要有氦,氬,酒精等。

      以上呢就是比較常用的三種真空腔體加工檢漏的辦法,我們呢也能夠根據(jù)實踐需要選擇適宜的辦法。