真空腔體加工檢漏方法是真空檢漏領(lǐng)域里不可或缺的一種技術(shù),因檢漏效率高,操作簡(jiǎn)單,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不容易受到其他氣體干擾,在真空腔體加工檢漏中得到了很多應(yīng)用.氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器.      由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規(guī)、收集器組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣等部分組成.質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng),在洛倫茲力的作用下偏轉(zhuǎn),進(jìn)而形成了圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)到.其中呢,噴氦法和吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏常用的兩種方法.    復(fù)雜的真空腔體加工通常需要定制，即專(zhuān)門(mén)為應(yīng)用終端設(shè)計(jì)和制作。一些常見(jiàn)的真空腔已經(jīng)預(yù)先設(shè)計(jì)好了，如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。例如，脫氣箱和手套箱一般采用低真空環(huán)境，可用于焊接，也可用于塑料制品、復(fù)合層壓板、包裝部件等的脫氣。      真空腔體加工包括真空腔、真空密封傳導(dǎo)、視口設(shè)置、真空傳感器、真空顯示、沉積系統(tǒng)、蒸發(fā)源和蒸發(fā)材料、飛濺目標(biāo)、等離子蝕刻設(shè)備、離子注入設(shè)備、真空爐、真空泵、法蘭、閥門(mén)和管件等多個(gè)部件。真空設(shè)備常用于脫氣、焊接、薄膜涂層制備、半導(dǎo)體/晶圓生產(chǎn)、光學(xué)設(shè)備和特殊材料。